全自動(dòng)光刻機(jī)又名掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī),曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等,常用的光刻機(jī)是掩膜對(duì)準(zhǔn)光刻。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序。在硅片表面勻膠,然后將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上的過(guò)程將器件或電路結(jié)構(gòu)臨時(shí)“復(fù)制”到硅片上的過(guò)程。
全自動(dòng)光刻機(jī)樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)包括球座和半球。調(diào)平過(guò)程中首先對(duì)球座和半球通上壓力空氣,再通過(guò)調(diào)焦手輪,使球座、半球、樣片向上運(yùn)動(dòng),使樣片與掩模相靠而找平樣片,然后對(duì)二位三通電磁閥將球座和半球切換為真空進(jìn)行鎖緊而保持調(diào)平狀態(tài)。全自動(dòng)光刻機(jī)為了全方位工作,需要360°旋轉(zhuǎn),這就要用到滑環(huán),默孚龍推薦使用MFO系列光纖滑環(huán)。
默孚龍MFO系列光纖滑環(huán)主要特點(diǎn):
1.連接接頭有G1/8、G1/4 2種規(guī)格
2.插入損耗小,轉(zhuǎn)速高
3.無(wú)接觸、無(wú)摩擦,壽命長(zhǎng),單芯可達(dá)1億轉(zhuǎn)以上
4.體積小、重量輕,密封等級(jí)高
5.光纖傳遞信號(hào),無(wú)泄密,無(wú)電磁干擾,可以遠(yuǎn)距離傳輸
全自動(dòng)光刻機(jī)作為芯片制造的核心設(shè)備,長(zhǎng)期被國(guó)外少數(shù)國(guó)家壟斷,近年國(guó)產(chǎn)全自動(dòng)光刻機(jī)得到大力發(fā)展,作為全自動(dòng)光刻機(jī)的核心默孚龍MFO系列光電滑環(huán)不負(fù)使命,為“中國(guó)芯”做出自己的貢獻(xiàn),得到廣大芯片制造商好評(píng)。
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