擴散爐應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件、及大規(guī)模集成電路制造等領(lǐng)域?qū)M(jìn)行擴散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝,可用于2-8英寸工藝尺寸,可保存多條工藝曲線,每條曲線可設(shè)置多步。
擴散爐工藝曲線的自動360°無限旋轉(zhuǎn)運行控制功能,自動運行中可暫停/繼續(xù)運行功能。工藝中可強制跳到下一個工藝步運行功能,智能升降溫斜率制功能,PID參數(shù)自整定功能,系統(tǒng)故障的檢測與報警功能,智能懸臂推拉舟控制功能。停電后斷點繼續(xù)運行功能,工藝氣體的程序控制功能(電磁閥/質(zhì)量流量控制器),可根據(jù)用戶的特殊要求增減或開發(fā)相應(yīng)的功能。為了解決擴散爐360°旋轉(zhuǎn)繞線問題,默孚龍推薦使用MB系列工業(yè)總線滑環(huán)。
默孚龍MB系列工業(yè)總線滑環(huán)主要特點:
1.完美支持總線類型有: CC-LINK、EtherCAT、EnterBUS,CanBUS、ProfiBUS、ProfiNET、DeviceNet,RS422、RS485、PLC等
2.高速率工業(yè)總線帶導(dǎo)電滑環(huán),絕不丟包
3.超強的抗干擾能力,從不報警
4.內(nèi)部特殊的屏蔽處理
5.保證100%的通信無死點
6.主要給高速率數(shù)據(jù)和無錯傳輸協(xié)議而設(shè)計
7.擁有獨立的設(shè)計發(fā)明專利
8.接觸部分采用稀有金屬+鍍硬金處理工藝,保證耐磨和抗氧化,從而保證了超長的使用壽命
9.可定制各類工業(yè)總線滑環(huán),DeviceNET總線滑環(huán),CanBus總線滑環(huán),CC-LINK總線滑環(huán),EtherCAT總線滑環(huán)等
默孚龍MB系列工業(yè)總線滑環(huán)是針對各類總線而設(shè)計開發(fā)的一款工業(yè)總線專用滑環(huán),采用特殊工藝的復(fù)合鍍層工藝,保證接觸的長期可靠性,保證不丟包不報警,不延時。主要應(yīng)用于工業(yè)自動化控制中的各類編碼器,伺服電機以及各類控制器之間的總線通訊,如鋰電池設(shè)備,各類高端智能化設(shè)備,各類激光類設(shè)備等。
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